​ CNC精密零配件加工（gōng）的特點

     超（chāo）精密零配件加工方法（fǎ）的特點是對（duì）外表層物質去除或添加（jiā）的量能（néng）夠作極（jí）細微的控製。但是要（yào）獲得cnc超精密零（líng）件加工精度，仍有賴於精密的（de）加工設備和準確的克製係統，並采用（yòng）超精密掩膜作中介物。例（lì）如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的（de）光致抗蝕劑（見光刻（kè））舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電（diàn）子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑（jì）把聚合過（guò）的或未聚合過的（de）部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製版必要采用工作台定（dìng）位精度高（gāo）達±0.01微米的（de）超精密加工設備。

    超精密零（líng）配（pèi）件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通（tōng）過精細研磨的單晶金剛石車刀舉行微量車（chē）削,切（qiē）削厚度僅1微米（mǐ）左右，常用於加工（gōng）有（yǒu）色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度、外表高度光潔的零件。例如（rú）加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非（fēi）球麵反射（shè）鏡，高（gāo）精度（dù）可達0.1微米，外表粗糙度為（wéi）Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後以原子單位(原子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特種精密零配件加工的方法（fǎ），即應（yīng）用化學（xué）能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原子間的聯合能，從（cóng）而去（qù）除工件外表的部（bù）分原子（zǐ）間的附著、聯合或晶格變形（xíng），以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的（de）有機械化學拋光、離（lí）子濺射和離子注入、電子束（shù）曝射、激（jī）光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。